结构形式：1—4管卧式热壁型
硅片规格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
温度范围：300～1100℃
恒温区长度及精度：200ram—1000mm(±1℃／24h)
淀积薄膜均匀性：片内±5％ 片间±5％ 批间±5％
沉积膜厚度：600～15000A
系统极限真空度：优于1Pa
工作压力范围：20～133Pa闭环控制
控制方式：工业微机
送料装置：悬臂推拉舟、软着陆系统
淀积薄膜分类：Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜
真空泵：罗茨泵、机械泵
工艺气路：5路气／管。VCR接口
40KHz脉宽调制AE高频电源
装片量：200片／舟
鲁公网安备 37030402000114号