设备特点：
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停／继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有多点温度补偿
技术指标：
可配置工艺管外径2～8英寸
可配置工艺管数量：1～4管/台
工作温度范围：400～1300℃
恒温区长度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
单点温度稳定性：800～1300℃±0.5℃/24h
可控升温速率：15℃/min
降温速率：5℃/min
鲁公网安备 37030402000114号