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高温氧化扩散炉

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  • 产品/服务:

    品 牌:福润德

    有效期至:长期有效
    供货总量: 最小起订量:
    发货期限:自买家付款之日起 3 天内发货
    最后更新:2023-01-08浏览次数:131
产品详情
 产品应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸 
  产品特点: 
  ◆主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺 
  ◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 
  ◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等 
  ◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性 
  ◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用质量流量计(MFC)进口 
  ◆控温精度高,温区控温稳定性好; 
  ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
  ◆高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命   
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