真空泵型号

GLD-N051

GLD-N136

GLD-N201

GLD-N280

PVD-N180

PVD-N180-1

PVD-N360

抽气速度（L/min）

60

162

240

336

150

150

310

极限真空（Pa）

＜6.7×10^-2

电机功率（KW）

0.2

0.4

0.5

0.75

0.4

0.4

0.75

真空泵型号

PVD-N360-1

VDN301

VDN401

VDN601

VDN901

VSN1501

VSN2401

抽气速度（L/min）

310

500(30m³/h)

670(30m³/h)

1000(60m³/h)

1500(90m³/h)

2500(150m³/h)

4000(240m³/h)

极限真空（mbar）

＜6.7×10^-2

＜6.7×10^-1

电机功率（KW）

0.75

1.1

1.5

2.2

3.7