青岛福润德微电子设备有限公司

LED专用炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

特点：

★关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

★具有可编程的升、降温功能。

★具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。

★可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线*多有九步。

★曲线间可以任意链接、重复。

★具有高抗干扰能力。

★具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

★可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。